Lab CVD-systeem met 1500-1500C Dual Zone roterende buisoven

Sales Lab CVD-systeem met 1500-1500C Dual Zone roterende buisoven

Verkoopsmanager:Andrea

E-mail: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechatten: 18250801164

  • :
  • :

Product detail  

Lab CVD-systeem met 1500-1500C Dual Zone roterende buisoven

Het CVD-systeem bestaat uit een gastoevoersysteem + buisoven + vacuümsysteem, en de maximale temperatuur kan 1200 graden, 1400 graden, 1600 graden en 1700 graden bereiken. De verwarmingszone kan een enkele temperatuurzone, een dubbele temperatuurzone, drie temperatuurzone, enz. zijn. Het ultieme vacuüm kan 10-3 Pa bereiken. Het gastoevoersysteem kan een massastroommeter of een vlotterstroommeter zijn voor stroomregeling. Het aantal mengkanalen kan 2 kanalen, 3 kanalen, 4 kanalen en 5 kanalen zijn.


Gedetailleerde technische parameters:

Model

1500-1500-I                                                     1500-1500-II

Stroom

9KW                                                                   9KW

Buis

maat

Dia

60(OD) X1400 mm                                     Dia 80 (OD) X1400 mm

Levering

Spanning

380V                                                                       380V

Fase

tweefasen                                                              tweefasen

Buis

Korundbuis: AIO . met hoge zuiverheid

keramiek (inclusief) 99,5%

Verwarming

element

Eerst

temperatuur zone:silicium carbon staaf                     Tweede temperatuur zone: silicium carbon staaf

Ovenbuis rotatiesnelheid:

Met traploze motor met variabele snelheid,

de snelheid kan worden aangepast tussen (1-25 RPM)

Motorkracht

40W

De oven kan schuin worden gekanteld

0-30 graden

soort rijden

Getande riem en versnelling

Controle

modus

UAV programma temperatuurregeling instrument:

(standaard)


1, 30-traps programma temperatuurregeling

intelligente PID-aanpassing.

2. Met oververhittingsbeveiliging, de elektrische;

oven verwarmingscircuit wordt automatisch afgesneden wanneer de temperatuur is

over-temperatuur of gebroken, (wanneer de elektrische oventemperatuur overschrijdt)

1520 graden of het thermokoppel is opgeblazen, het AC-relais op het hoofdcircuit

wordt automatisch losgekoppeld, het hoofdcircuit is verbroken. Aan, de AAN

lampje op het paneel is uit, het UIT-lampje is aan en de beperkte bescherming

elektrische oven).

3, met 485 communicatie-interface (standaard)

bij aanschaf software)

4, met power-off-beveiligingsfunctie, dat:

is, wanneer de stroom wordt ingeschakeld nadat de stroom is uitgeschakeld, zal het programma

start niet vanaf de starttemperatuur, maar de oventemperatuur

stijgt vanaf het moment van stroomuitval.

5, de meter heeft de functie van temperatuur zelf-tuning;

(je moet extra betalen voor de vervanging)

van geïmporteerde instrumenten, optioneel)

FP93-instrument

EUROTHERM-instrument

Touch screen

instrument

(Simaden, Japan)



Oven materiaal:

1. Hoge kwaliteit polykristallijn aluminiumoxide met hoge zuiverheid;

vezeluithardingsoven gevormd door vacuümfiltratie.

2. Keur Japanse technologie goed voor het vormen.

Controle

nauwkeurigheid

+/- 1℃

Trekker

Fase-verschoven

trekker

Elektrisch

apparaat

Zhejiang

chint

Silicium

gecontroleerd

106/16ESEMIKRON

De

hoogste temperatuur in de eerste en tweede temperatuurzones

1500℃

gewaardeerd

temperatuur in de eerste en tweede temperatuurzones

1400℃

Verwarming

tarief

≤20℃/Min (het kan naar behoefte worden gewijzigd)

Aanbevolen

snelheid van temperatuurstijging

≤10℃/ Min

Thermokoppel

S typ de eerste in

temperatuurzone

S

typ het tweede temperatuurgebied in

Lengte

van verwarmingssectie in de eerste en tweede temperatuurzones

300+300 mm                                             300+300 mm

Constante temperatuur lengte:

450 mm                                                        450 mm

Gx-3 driekanaals luchttoevoer (gemengd

lucht) systeem

1.1. Het gas verlaat de cilinder, is

drukloos gemaakt door een drukreduceerventiel, gaat door de PTFE-buis;

naar de inlaat van het gastoevoersysteem en gaat dan door de massastroom




meter om de gasstroom te regelen, en gaat dan door de gasmengtank en

komt dan in de inlaat van de oven.

1.2.

2)


Een manometer is bevestigd aan de gasmengtank en de manometer

weergaveschijf en de proton-flowmetercontroller zijn op dezelfde geïnstalleerd

paneel.

1.3.

Elke gasleiding heeft een hogedrukafsluitklep voor de veiligheid.

1.4.

Het gaspad gebruikt een zeer nauwkeurige gasmassastroommeter en de binnenkant van de

gaspad is volledig gemaakt van roestvrijstalen buis, die een goede corrosie heeft;

weerstand.

1.5.

Alle verbindingen in de doos zijn verbonden door roestvrijstalen adereindhulzen, die:

goede luchtdichtheid en hoge drukweerstand.

2. Technische parameters:

Pneumatisch kanaal: 3

Gasstroomregeling:

Massastroommeter.

Afmetingen kast:

600X600X600mm

Massastroommeter

technische parameters:

Interface: Φ6

Weergave: LED

Werkomgevingstemperatuur: 5~45°C

Stroomregelaar:

Proton flow controller parameters Controleer terug

Roestvrij stalen buis:

Φ6 buiten X Φ4

Drukvacuüm

tabel: -0.1~0.15 MPa, 0.01

MPa/divisie

Stopklep: Φ6

Stroomregeling: PLC

intelligente controle

功率

3. Massastroommeter:

电压

technische parameters:

转速

Product

Naam: Massastroomregelaar:

Product

Beschrijving: Normaal type, analoog circuit

6

Product

details: Gewoon, analoog circuit, rubberen afdichting, buisvormige shunt, niet gemakkelijk te

blok.

Hoofd

indicatoren: Bereik: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (u kunt het bereik willekeurig kiezen)

Nauwkeurigheid: ±1% FS

Lineair: 0,5% FS

Herhaalbaarheid: ±0,2% FS

Reactietijd: 1S

Luchtdrukdaling: <0.01MPa

Maximale druk: 3MP

Werkomgevingstemperatuur: 5~45°C

Ingangs- en uitgangssignalen: 0~+5.00V

Vermogen: +15V 50mA -15V 50mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Afmetingen: 158*30*110

Gewicht: 0,9 kg



Tags :
Leave A Message
If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.
X

Home

Supplier

Leave a message

Leave a message

If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.