Lab CVD-systeem met 1500-1500C Dual Zone roterende buisoven

Sales

Verkoopsmanager:Andrea

E-mail: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechatten: 18250801164

Product detail

Lab CVD-systeem met 1500-1500C Dual Zone roterende buisoven

Het CVD-systeem bestaat uit een gastoevoersysteem + buisoven + vacuümsysteem, en de maximale temperatuur kan 1200 graden, 1400 graden, 1600 graden en 1700 graden bereiken. De verwarmingszone kan een enkele temperatuurzone, een dubbele temperatuurzone, drie temperatuurzone, enz. zijn. Het ultieme vacuüm kan 10-3 Pa bereiken. Het gastoevoersysteem kan een massastroommeter of een vlotterstroommeter zijn voor stroomregeling. Het aantal mengkanalen kan 2 kanalen, 3 kanalen, 4 kanalen en 5 kanalen zijn.

Gedetailleerde technische parameters:

Model	1500-1500-I 1500-1500-II
Stroom	9KW 9KW
Buis	maat
Dia	60(OD) X1400 mm Dia 80 (OD) X1400 mm
Levering	Spanning
380V 380V	Fase
tweefasen tweefasen	Buis
Korundbuis: AIO . met hoge zuiverheid	keramiek (inclusief) 99,5%
Verwarming	element
Eerst	temperatuur zone:silicium carbon staaf Tweede temperatuur zone: silicium carbon staaf
Ovenbuis rotatiesnelheid:	Met traploze motor met variabele snelheid,
de snelheid kan worden aangepast tussen (1-25 RPM)	Motorkracht 40W De oven kan schuin worden gekanteld 0-30 graden soort rijden Getande riem en versnelling Controle modus UAV programma temperatuurregeling instrument:
(standaard)	1, 30-traps programma temperatuurregeling intelligente PID-aanpassing.
2. Met oververhittingsbeveiliging, de elektrische;	oven verwarmingscircuit wordt automatisch afgesneden wanneer de temperatuur is
over-temperatuur of gebroken, (wanneer de elektrische oventemperatuur overschrijdt)	1520 graden of het thermokoppel is opgeblazen, het AC-relais op het hoofdcircuit
wordt automatisch losgekoppeld, het hoofdcircuit is verbroken. Aan, de AAN	lampje op het paneel is uit, het UIT-lampje is aan en de beperkte bescherming
elektrische oven).	3, met 485 communicatie-interface (standaard)
bij aanschaf software)	4, met power-off-beveiligingsfunctie, dat:
is, wanneer de stroom wordt ingeschakeld nadat de stroom is uitgeschakeld, zal het programma	start niet vanaf de starttemperatuur, maar de oventemperatuur
stijgt vanaf het moment van stroomuitval.	5, de meter heeft de functie van temperatuur zelf-tuning;
(je moet extra betalen voor de vervanging)	van geïmporteerde instrumenten, optioneel)
FP93-instrument
EUROTHERM-instrument	Touch screen
instrument	(Simaden, Japan)

Oven materiaal:

1. Hoge kwaliteit polykristallijn aluminiumoxide met hoge zuiverheid;

vezeluithardingsoven gevormd door vacuümfiltratie.

2. Keur Japanse technologie goed voor het vormen.

Controle

nauwkeurigheid

+/- 1℃

Trekker

Fase-verschoven

trekker

Elektrisch

apparaat

Zhejiang

chint

Silicium

gecontroleerd

106/16ESEMIKRON

hoogste temperatuur in de eerste en tweede temperatuurzones

1500℃

gewaardeerd

temperatuur in de eerste en tweede temperatuurzones

1400℃

Verwarming

tarief

≤20℃/Min (het kan naar behoefte worden gewijzigd)

Aanbevolen

snelheid van temperatuurstijging

≤10℃/ Min

Thermokoppel

S typ de eerste in

temperatuurzone

typ het tweede temperatuurgebied in

Lengte

van verwarmingssectie in de eerste en tweede temperatuurzones

300+300 mm 300+300 mm

Constante temperatuur lengte:

450 mm 450 mm

Gx-3 driekanaals luchttoevoer (gemengd

lucht) systeem

1.1. Het gas verlaat de cilinder, is

drukloos gemaakt door een drukreduceerventiel, gaat door de PTFE-buis;

naar de inlaat van het gastoevoersysteem en gaat dan door de massastroom

meter om de gasstroom te regelen, en gaat dan door de gasmengtank en

komt dan in de inlaat van de oven. 1.2. 2)	Een manometer is bevestigd aan de gasmengtank en de manometer	weergaveschijf en de proton-flowmetercontroller zijn op dezelfde geïnstalleerd
	paneel.	1.3.
	Elke gasleiding heeft een hogedrukafsluitklep voor de veiligheid.	1.4.
	Het gaspad gebruikt een zeer nauwkeurige gasmassastroommeter en de binnenkant van de	gaspad is volledig gemaakt van roestvrijstalen buis, die een goede corrosie heeft;
	weerstand. 1.5.	Alle verbindingen in de doos zijn verbonden door roestvrijstalen adereindhulzen, die:	goede luchtdichtheid en hoge drukweerstand.
		2. Technische parameters:	Pneumatisch kanaal: 3
		Gasstroomregeling:	Massastroommeter.
		Afmetingen kast:	600X600X600mm
		Massastroommeter	technische parameters:
		Interface: Φ6	Weergave: LED
		Werkomgevingstemperatuur: 5~45°C	Stroomregelaar:
		Proton flow controller parameters Controleer terug	Roestvrij stalen buis:
		Φ6 buiten X Φ4	Drukvacuüm
		tabel: -0.1～0.15 MPa, 0.01	MPa/divisie
	Stopklep: Φ6 Stroomregeling: PLC intelligente controle	功率	3. Massastroommeter:
		电压	technische parameters:
		转速	Product
		Naam: Massastroomregelaar:	Product
		Beschrijving: Normaal type, analoog circuit	6
		Product	details: Gewoon, analoog circuit, rubberen afdichting, buisvormige shunt, niet gemakkelijk te
	blok. Hoofd	indicatoren: Bereik: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10	SLM (u kunt het bereik willekeurig kiezen)
		•	Nauwkeurigheid: ±1% FS
		•	Lineair: 0,5% FS
		•	Herhaalbaarheid: ±0,2% FS
		•	Reactietijd: 1S
		•	Luchtdrukdaling: <0.01MPa
	•	Maximale druk: 3MP	•
		Werkomgevingstemperatuur: 5~45°C	•
		Ingangs- en uitgangssignalen: 0~+5.00V	•
		Vermogen: +15V 50mA -15V 50mA	•