systeem, een gastoevoersysteem en een radiofrequentievoedingssysteem. Voornamelijk

gebruikt voor: groei van dunne metalen films, keramische dunne films, composiet dunne films,

grafeen, enz. Het is gemakkelijk om functies toe te voegen en functies uit te breiden zoals:

plasmareiniging en etsen. Het PECVD-systeem heeft de voordelen van een hoge film

afzettingssnelheid, goede uniformiteit, hoge consistentie en stabiliteit.

Gedetailleerde technische

parameters

Model

TL1600-I

Stroom

5KW

Buismaat (OD) (mm)

Hoogzuivere korundbuis: 60 mm (buisdiameter)

Aan elke kant zijn twee ovenpluggen geplaatst. De

ovenplug kan de warmtestraling in het midden van de ovenbuis blokkeren;

en moet vóór het verwarmen in de juiste positie in de oven worden geplaatst.

Dimensie

1120X490X855

voedingsspanning:

220V

fase

enkele fase

verwarmingselement

1800 model silicium-molybdeen staaf

Type temperatuurregeling:

Gebruiken

Yudian programma temperatuurregelinstrument (standaard)

1.

30-segment programma temperatuurregeling intelligente PID-aanpassing.

2.

Met oververhittingsbeveiliging zal het verwarmingscircuit van de elektrische oven:

automatisch worden afgesneden wanneer de temperatuur te hoog is of wanneer de

paar is gebroken. AAN, het AAN-lampje op het paneel is uit, het UIT-lampje is aan,

en de elektrische oven is beperkt beveiligd).

3.

Met 485 communicatie-interface (standaard met optionele software)

4.

Het heeft een stroomuitvalbeveiligingsfunctie, dat wil zeggen, wanneer de oven is:

ingeschakeld nadat de stroom is uitgeschakeld, start het programma niet vanaf de

aanvankelijke temperatuur, maar begint bij de oventemperatuur wanneer de macht

is uit.

5.De

meter heeft de functie van temperatuur zelf-tuning;

(je moet extra betalen voor de vervanging van geïmporteerde)

instrumenten, optioneel)

FP93-instrument                             EUROTHERM-instrument                       Touchscreen

instrument

(Simaden, Japan)

Kamer materiaal

1. Het haardmateriaal is gemaakt van hoge kwaliteit

aluminiumoxide polykristallijne vezel.

2. Het oppervlak van de binnenoven is bedekt met:

geïmporteerde 1800 graden aluminiumoxide coating op hoge temperatuur, die de kan verhogen

emissiviteit en maak het temperatuurveld evenwichtiger.

Kleppen en flenzen

controle precisie

scherm digitale weergave.

Adopteren

VRD16 vacuümpomp

VRD16

Technische term

Specificatie

VRD-16

Pompsnelheidm³/h（L/s）

motorvermogen (KW)

0,75 KW/0,55 KW

Inlaat/uitlaat aansluitingDN

KF25

flowcontroller wordt gebruikt, zie de achterkant!