Vacuümsysteem met VRD16-vacuümpomp voor CVD-systeem

I. Overzicht

Het systeem

(kan het vacuüm in de buisoven pompen tot 0,6 Pa) bestaat uit een zuigflens

(zelf gemaakt) met KF25-interface, hoogvacuümschotmethode, weerstandsvacuüm

manometer, balg, beugel (zelfgemaakt), vacuümpomp Sluit de T-pijp aan op de

flensuitlaat, sluit het weerstandssilicium aan op het ene uiteinde van de driewegpijp,

sluit de hoogvacuümklep aan op het andere uiteinde, sluit de klep aan;

klep en de vacuümpomp met de golf van Dia25, en gebruik de KF25 quick

klem voor de aansluitpoort. .

2. Drukdetectiesysteem

ZDR-I/ZDR-I-LED type enkele weerstand

vacuümmeter

De weerstandsvacuümmeter

(ook bekend als de Pirani-vacuümmeter) maakt gebruik van een speciaal gestabiliseerde ZJ-52T

weerstandsmeter en past een nieuwe modus voor constante temperatuur toe op de

constante kracht. Tegelijkertijd wordt de microprocessor gebruikt om de

niet-lineariteit van de regeling. Lineaire verwerking. Het heeft de kenmerken:

van stabiele prestaties, breed meetbereik, snelle respons en kleine drift. En

krachtige en betrouwbare microprocessorgestuurde relaisbesturing, seriële communicatie

uitgang, vacuüm analoge uitgang en andere functies. Bijzonder geschikt voor

ruw- en laagvacuümmeting en controle van vacuümtoepassingen.

Technische parameters:

*

Distributieregeling: ZJ-52T weerstandsmeter

*

Meetbereik: 10 5～10 -1 Pa

*

Optische isolatie, digitale filtering, verbeterd anti-interferentievermogen.

*