Toepassingen in halfgeleiders

Waterstof wordt gebruikt bij kristalgroei en contrastbereiding, oxidatieproces, epitaxieproces en chemische depositie (CVD). De halfgeleiderindustrie stelt hoge eisen aan gaszuiverheid. De opname van sporenonzuiverheden zal de oppervlakteactiviteit van halfgeleiders veranderen. Wanneer SIHCI3 wordt gegenereerd uit silicium door waterstofchloride, wordt het gescheiden door een fractioneringsproces en gereduceerd door waterstof bij hoge temperatuur om te voldoen aan de zuiverheidseis van halfgeleiders: SIHCI3+H2--- -Si+3HCI. De zuiverheidseis van waterstof is zeer hoog in het bovenstaande proces. De onzuiverheden van koolmonoxide en kooldioxide in waterstof zullen het substraat oxideren en polysilicium vormen. Als het methaan bevat, vormt het siliciumcarbide in de buitenste laag, waardoor defecten ontstaan. In het verleden was het zuurstofgehalte minder dan 1 * 10-6 en het dauwpunt lager dan - 70c, maar nu is het veeleisender. Waterstofproductie door waterelektrolyse kan voldoen aan de hoge eisen van halfgeleiders voor waterstof.

Waarom voor ons kiezen ?

Economisch concurrentievermogen:de beste TCO (total cost of ownership) in vergelijkbare producten.
De transmissiedruk van elektrolytische cel is gebaseerd op de vraag van de gebruiker,
wat de energie die nodig is voor verdere compressie aanzienlijk vermindert (lage, gemiddelde en hoge druk)

Veiligheid:seriesimulatie en -modellering kunnen de kwaliteit en veiligheid van onze apparatuur tot een opmerkelijk niveau verbeteren
De snelle dynamische respons biedt de flexibiliteit die nodig is voor door de elektriciteitsmarkt geleide operaties om uw investering volledig te optimaliseren.
Modulaire uitbreidbare architectuur op basis van megawatt-kernmodules wordt gebruikt als bouwstenen
Makkelijk te installeren:De apparatuur is ontwikkeld en vervaardigd door Zhongxinda en de montage ter plaatse door de klant is alleen beperkt tot interconnectie.
Wij bieden waterstofproductieapparatuur, service en hoge snelheid voor hydrogeneringsstation, nieuwe energie, chemische industrie, non-ferrometaal, elektriciteit, ijzer en staal, luchtvaart en andere industrieën.

Certificaatatie:

Zhongxinda streeft naar het leveren van producten en apparatuur van hoge kwaliteit.
De technische afdeling voor waterstofproductie wordt ondersteund door senior ingenieurs, die zich bezighouden met productie, installatie, inbedrijfstelling en andere diensten.
Het is een uitgebreid after-sales serviceteam met technische servicesterkte.
Ons after-sales serviceteam zorgt er niet alleen voor dat elke set apparatuur snel aan gebruikers kan worden geleverd met uitstekende prestaties tijdens installatie en inbedrijfstelling ter plaatse,
we bieden ook professionele online technische vragen en snelle on-site service na apparatuurstoring wanneer de officiële productie van de apparatuur is voltooid.

Pre-sales service
* Onderzoek en consulting ondersteuning.
* technische voorstel ondersteuning.
* Bekijk onze Fabriek.
Dienst na verkoop
* Training hoe de machine te installeren, training hoe de machine te gebruiken.
* Ingenieurs beschikbaar om machines in het buitenland te onderhouden.